| 半导体领域的应用 | MFA控制器类型 | MFA益处 |
| 反应炉－ 多区域温度控制（低温）。 淀积－ 真空、气流和压力的控制。 刻蚀－ 化学成分、pH值和流量的控制。 CMP－ 浆液流量和压力的控制。 RTP－ 高速温度控制。 ALD－ 流体和气体的传送。 运动控制－ 高速、高精度自适应运动控制。 |
SISO MFA取代PID，免去人工整定参数。 Nonlinear MFA控制非线性过程。 MIMO MFA控制多变量系统。 Anti-delay MFA控制大滞后过程。 Feedforward MFA抑制可测的扰动。 MFA pH控制pH过程。 |
高产量－ 快速精确地控制到设定值。 产品上市周期短－ 新产品的研发无需建立过程模型。 运行成本低－ 由于免去了控制器参数的人工整定，大大延长了运行周期。 生产设备使用效率高－ 极少的校正和调整。. 最佳“所有权成本”－ 把MFA嵌入到您的设备中。 |
无模型自适应（MFA）控制的核心
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MFA的特点
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MFA内幕
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关键词
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说明
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| 控制复杂过程 |
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自适应
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自适应加权因子在每个采样周期都在刷新，目标是使偏差e(t)最小。
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| 无需精确的过程知识 |
鲁棒性
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提供了比PID和其他控制器更宽的鲁棒范围。
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| 无需过程辨识 |
快速度
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无需在模型训练上消耗时间，过程控制即刻实现。
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| 无需控制器设计 |
稳定性
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可保证无源过程的闭环稳定。
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| 无需复杂的人工整定 |
使用方便
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设定，投运和维护非常简单。
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| 用于半导体行业的MFA控制产品 | CyboSoft的合作原则 | |||||||||
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