设备/过程 | 被控变量 | 控制难点 | MFA使用类型 |
快速热处理设备(RTP) | 区域温度 | 高速,非线性,多变量 | (高速版)非线性MFA+前馈MFA |
化学机械抛光(CMP) | 浆液 | 非线性 | 非线性MFA |
压力回路 | 非线性,多变量 | 非线性MFA+前馈MFA | |
淀积系统 | 气流 | 非线性,多变量 | 非线性MFA+前馈MFA |
真空压力 | 非线性,多变量 | 非线性MFA | |
仪器设备样机 | 温度、压力,流量和运动控制 | 样机设计的频繁修改致使系统动态特性改变 | 多种MFA |
废水处理应用实例 | pH值 | 对象增益成指数形式变化,并伴随有时滞 | MFA pH或抗滞后MFA pH |
化学中和反应 | pH值 | 高精度pH控制 | MFA pH或抗滞后MFA pH |