CyboSoft进入半导体工业

2003年7月25日，Rancho Cordova，CA - 无模型自适应（MFA）控制技术的发明者，通控集团博软公司于今日宣布继上周首次参加了旧金山西方半导体材料与设备展（SEMICON West Expo）后，正式进入半导体设备工业。

Dr. George Cheng（CyboSoft总裁及首席技术执行官）评论道：“此次西方半导体材料与设备展对我们来说有着非常积极的意义。半导体设备工业急需自动控制。那些支持亚微米加工和铜连接的系统是非常复杂的，这使我们相信无模型自适应（MFA）控制技术将大有用武之地。并有希望使半导体工业设备实现手动控制到MFA控制的跨越，甚至直接跳过基于模型的控制。”

CyboSoft是一个高科技公司，其无模型自适应（MFA）技术被认为是工业领域的一个突破。MFA为复杂的系统提供了自适应控制和鲁棒控制，而无需开发、维护复杂的过程模型。对于单变量和多变量系统，包括CMP和RTP，MFA实现了理想的内嵌、实时反馈控制。MFA以其专利技术使得设备的调试和校准变得非常的容易。将MFA嵌入OEM设备中是很方便的，一旦安装后，无需手工调整参数。使用MFA控制技术的客户都已经实现了产量的提高，次品率的降低，产品质量的提升和更加柔性的生产环境。

随着半导体工业正经历的转变，CyboSoft深信该工业领域急需像MFA这样的控制技术。公司的策略是与各大半导体设备制造厂商合作， 包括RTP，CMP和淀积设备等，帮助他们生产出下一代半导体制造设备。