• 反应炉 －
多区域温度控制（低温）。
• 淀积 － 真空、气流和压力的控制。
• 刻蚀 － 化学成分、pH值和流量的控制。
• CMP － 浆液流量和压力的控制。
• RTP － 高速温度控制。
• ALD － 流体和气体的传送。
• 运动控制 － 高速、高精度自适应运动控制。
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• SISO
MFA 取代PID，免去人工整定参数。
• Nonlinear
MFA 控制非线性过程。
• MIMO
MFA 控制多变量系统。
• Anti-delay
MFA 控制大滞后过程。
• Feedforward
MFA 抑制可测的扰动。
• MFA
pH 控制pH过程。
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• 高产量 －
快速精确地控制到设定值。
• 产品上市周期短 － 新产品的研发无需建立过程模型。
• 运行成本低 － 由于免去了控制器参数的人工整定，大大延长了运行周期。
• 生产设备使用效率高 － 极少的校正和调整。.
• 最佳“所有权成本”－ 当MFA嵌入到您的设备中。
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